其中，樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)包括球座和半球。調(diào)平過程中首先對球座和半球通上壓力空氣，再通過調(diào)焦手輪，使球座、半球、樣片向上運(yùn)動，使樣片與掩模相靠而找平樣片，然后對二位三通電磁閥將球座和半球切換為真空進(jìn)行鎖緊而保持調(diào)平狀態(tài)。

        樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)由調(diào)焦手輪、杠桿機(jī)構(gòu)和上升直線導(dǎo)軌等組成，調(diào)平上升過程初步調(diào)焦，調(diào)平完成鎖緊球氣浮后，樣片和掩模之間會產(chǎn)生一定的間隙，因此必須進(jìn)行微調(diào)焦。另一方面，調(diào)平完成進(jìn)行對準(zhǔn)，必須分離一定的對準(zhǔn)間隙，也需要進(jìn)行微調(diào)焦。

        抽拉掩模臺主要用于快速上下片，由燕尾導(dǎo)軌、定位擋塊和鎖緊手輪組成。承片臺和掩模夾是根據(jù)不同的樣片和掩模尺寸而進(jìn)行設(shè)計(jì)的。

        而工件臺上的一切操作都需要在對準(zhǔn)系統(tǒng)的輔助下，進(jìn)行手工調(diào)節(jié)。

        而制造高精度的對準(zhǔn)系統(tǒng)需要具有近乎完美的精密機(jī)械工藝，對準(zhǔn)系統(tǒng)另外一個技術(shù)難題就是對準(zhǔn)顯微鏡。為了增強(qiáng)顯微鏡的視場，許多高端的光刻機(jī)，采用了led照明。

        對準(zhǔn)系統(tǒng)共有兩套，具備調(diào)焦功能。主要就是由雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體、目鏡和物鏡各1對光刻機(jī)通常會提供不同放大倍率的目鏡和物鏡供用戶組合使用。

        而楊小樂對sony公司的ccd感光元件這么感興趣、甚至不惜大丟臉面的垂涎三尺，就是為了將ccd應(yīng)用在對準(zhǔn)系統(tǒng)上，前世應(yīng)用廣泛的ccd對準(zhǔn)系統(tǒng)作用是將掩模和樣片的對準(zhǔn)標(biāo)記放大并成像于監(jiān)視器上。

        不錯，楊小樂就是想借此進(jìn)入光刻機(jī)的市場。

        而要想進(jìn)入這個真正的高科技行業(yè)，除了從日本的尼康和佳能入手以外，楊小樂暫時別無他法，因?yàn)檫@個行業(yè)是個系統(tǒng)工程，高端光刻機(jī)集精密光學(xué)、機(jī)械、控制、材料等先進(jìn)科技和工程技術(shù)于一體，是集成電路裝備中技術(shù)難度最高、價格最昂貴的關(guān)鍵設(shè)備，被稱為人類技術(shù)發(fā)展的制高點(diǎn)和制造工業(yè)“皇冠上的明珠”。

        光刻機(jī)的水平?jīng)Q定著集成電路的發(fā)展水平，它在ic制造設(shè)備的價值鏈中占30%—40%。而光刻機(jī)的主要難點(diǎn)聚焦在準(zhǔn)分子光源、光學(xué)系統(tǒng)和超精密運(yùn)動高速工作臺。猶如世界上沒有兩片相同的葉子，同樣，也沒有兩臺一模一樣的光刻機(jī)。每臺光刻機(jī)，都有自己獨(dú)一無二的“光刻指紋”。楊小樂的最終目的就是要生產(chǎn)完全屬于自己的光刻機(jī)。

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